AWM5000 系列微桥气体质量流量传感器采用文丘里管型流量外壳。该系列可测量速度高达 20升/每分(SLPM) 且最大压降为 2.25' H2O 的气流。微桥芯片直接与气流接触，大大减少了由于通气孔或旁路堵塞引起的误差。

坚固、通用的封装

坚固的塑料封装被设计为能承受最高 50 psi 的共模压力，且小型传感元件能承受 100 g 的冲击，而不会影响性能。随附的“AMP”兼容连接器可提供超可靠的连接，适用于要求严苛的应用。

内置信号调节

每个 AWM5000 传感器都包括可执行放大、线性化、温度补偿和气体标定功能的电路系统。无论流量范围 (5、10、15 或 20 SLPM) 或校准气体（氮气、二氧化碳、一氧化二氮或氩气）如何，所有产品都可能达到 1 至 5 Vdc 的线性输出。主动激光可进行所有校准。

• 补偿温度范围

• 0°C 至 50°C [32°F 至 122°F]

• 流量/压力范围

• 0 SLPM 到 5.0 SLPM

• 0 SLPM 到 10.0 SLPM

• 0 SLPM 到 15.0 SLPM

• 0 SLPM 到 20.0 SLPM

• 响应时间

• 最大 60 ms

• 电源电压

• 最小 8.0 Vdc，典型值 10.0 Vdc，最大 15.0 Vdc

• UNSPSC 代码

• 41111931

• 冲击

• 峰值为 100 g，半正弦为 6 ms（3 次下降，每次沿着 3 轴方向）

• 输出温漂

• ±7% 读数

• ±10% 读数

• 零位

• 最小 0.95 Vdc，典型值 1 Vdc，最大 1.05 Vdc

• 端口类型

• 1/4 英寸 - 18 NPT

• 信号调节

•  放大

• 可重复性

• ±0.50% 读数

• UNSPSC 商品

• 41111931 流量传感器

• 调整点的输出电压

• 20 SLPM 时为 5.0 Vdc

• 5 SLPM 时为 5.0 Vdc

• 15 SLPM 时为 5.0 Vdc

• 10 SLPM 时为 5.0 Vdc

• 存储温度

• -20°C 至 70°C [-4°F 至 158°F]

• 介质兼容性

• 仅干燥气体

• 重量

• 60 g

• 系列名称

• AWM5000

• 功耗

• 最大 100 mW

• 工作温度

• -20°C 至 70°C [-4°F 至 158°F]

• 整个温度范围内的零位

• 典型值 ±0.050 Vdc，最大 ±0.20 Vdc

• 共模压力

• 50 psi